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Overview of differential pressure sensors

差圧センサーの概要

原理、概要

受圧部には磁性フラットダイアフラムを使用し、差圧による微小変位をインピーダンス変化として検出します。
過圧に対しては、ダイアフラムを壁面で保護するので破損することはありません。

概略特性

  • 直線性範囲 センサーレンジ: 0~±1000Paまたは2000Pa(機種により異なる)
  • 高感度 分解能:1Paまたは0.1Pa(機種により異なる)
  • 高耐差圧 標準:5MPa(最大16MPa)
  • 小内容積:0.5mL以下
  • 容積変化率:約0.01 mL/kPaまたは0.005 mL/kPa(機種により異なる)