原理、概要
受圧部には磁性フラットダイアフラムを使用し、差圧による微小変位をインピーダンス変化として検出します。
過圧に対しては、ダイアフラムを壁面で保護するので破損することはありません。
概略特性
- 直線性範囲 センサーレンジ: 0~±1000Paまたは2000Pa(機種により異なる)
- 高感度 分解能:1Paまたは0.1Pa(機種により異なる)
- 高耐差圧 標準:5MPa(最大16MPa)
- 小内容積:0.5mL以下
- 容積変化率:約0.01 mL/kPaまたは0.005 mL/kPa(機種により異なる)