エアリークテスターの基本原理

空気圧を被検査物（ワーク）に印加後、内圧の変化を計測して漏れを判定する方法です。漏れのない基準品（マスター）を用意、ワーク、マスターに同時に加圧します。高感度の差圧センサーにより、漏れによるワーク内の圧力変化をマスター内の圧力との差として検出します。

1. CHG 工程（加圧）

   排気弁(AV3)を閉じ、加圧弁(AV1)を開き、テスト圧を回路に封入します。

2. BAL1 工程（等圧）

   加圧弁(AV1)を閉じ、マスタとワーク間を導通させた状態で安定させます。

3. BAL2 工程（平衡）

   等圧弁(AV2)を閉じ、マスタとワーク間を遮断した状態で安定させます。大リークはこの工程で検出します。

4. DET 工程（検出）

   電気的にオートゼロをかけて小リークの検出をします。この工程でドリフト補正機能が働きます。

平衡及び検出行程において、漏れにより生じる差圧ΔＰはオートゼロ動作後、0.1s毎に演算され、漏れ量（リークレイトmL/min等）の単位で表示されます。
検出行程で漏れ量の表示が変化せず一定となればそれ以上の検出時間は不要となります。