ヘリウム・水素・バッテリーリークテスト一覧

ワークの中にトレーサーガスを封入し、ワークから漏れたトレーサーガスを質量分析計で検出することで漏れを検出する検査機です。
トレーサーガスとしては主にヘリウム、水素などが用いられます。
ワークの特性によりスニファー法や加圧積分法、真空容器法などの検査方法があります。